发明名称 |
一种用于快速响应温度测量的薄膜温度传感器 |
摘要 |
本实用新型公开了一种用于快速响应温度测量的薄膜温度传感器,包括基片,所述基片上镀有薄膜热电偶,所述薄膜热电偶的正极和负极通过热接点连接;所述薄膜热电偶的两个外接端分别通过一个焊盘与外接引线连接;所述薄膜热电偶上覆盖有保护层。本实用新型的温度传感器具有高温快速响应温度测量的特点,能够用于1600℃的温度环境测温;薄膜温度传感器的响应时间较快,响应时间为几毫秒;薄膜温度传感器由于体积较小,对测试温场的干扰较小,提高了温度传感器的测试精度,能满足目前快速响应的动态测温需求。 |
申请公布号 |
CN204286623U |
申请公布日期 |
2015.04.22 |
申请号 |
CN201420695951.0 |
申请日期 |
2014.11.19 |
申请人 |
中国电子科技集团公司第四十八研究所 |
发明人 |
白庆星;景涛;张龙赐;龚星;谷晨;赵嘉;秦舒 |
分类号 |
G01K7/02(2006.01)I |
主分类号 |
G01K7/02(2006.01)I |
代理机构 |
长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 |
代理人 |
马强 |
主权项 |
一种用于快速响应温度测量的薄膜温度传感器,包括基片(1),其特征在于,所述基片(1)上镀有薄膜热电偶,所述薄膜热电偶的正极(3)和负极(2)通过热接点(5)连接,且所述热接点(5)厚度与所述薄膜热电偶厚度相同;所述薄膜热电偶的两个外接端分别通过一个焊盘(4)与外接引线连接;所述薄膜热电偶上覆盖有保护层(6)。 |
地址 |
410111 湖南省长沙市天心区新开铺路1025号 |