发明名称 一种用于快速响应温度测量的薄膜温度传感器
摘要 本实用新型公开了一种用于快速响应温度测量的薄膜温度传感器,包括基片,所述基片上镀有薄膜热电偶,所述薄膜热电偶的正极和负极通过热接点连接;所述薄膜热电偶的两个外接端分别通过一个焊盘与外接引线连接;所述薄膜热电偶上覆盖有保护层。本实用新型的温度传感器具有高温快速响应温度测量的特点,能够用于1600℃的温度环境测温;薄膜温度传感器的响应时间较快,响应时间为几毫秒;薄膜温度传感器由于体积较小,对测试温场的干扰较小,提高了温度传感器的测试精度,能满足目前快速响应的动态测温需求。
申请公布号 CN204286623U 申请公布日期 2015.04.22
申请号 CN201420695951.0 申请日期 2014.11.19
申请人 中国电子科技集团公司第四十八研究所 发明人 白庆星;景涛;张龙赐;龚星;谷晨;赵嘉;秦舒
分类号 G01K7/02(2006.01)I 主分类号 G01K7/02(2006.01)I
代理机构 长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 代理人 马强
主权项 一种用于快速响应温度测量的薄膜温度传感器,包括基片(1),其特征在于,所述基片(1)上镀有薄膜热电偶,所述薄膜热电偶的正极(3)和负极(2)通过热接点(5)连接,且所述热接点(5)厚度与所述薄膜热电偶厚度相同;所述薄膜热电偶的两个外接端分别通过一个焊盘(4)与外接引线连接;所述薄膜热电偶上覆盖有保护层(6)。
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