大口径光学元件侧边抛光的装夹装置及抛光方法

摘要

本发明提供一种对大口径光学元件侧边抛光时装夹方便可靠的装置及抛光方法。大口径光学元件侧边抛光的装夹装置，包括基体，在所述基体上设置有多个与大口径光学元件的侧边和/或工作面贴合的位移可调的挡块，以保证对大口径光学元件的侧边进行精密定位。本发明的挡块的形状和尺寸可依据工件来调整，调整螺栓有较大行程，配合不同的挡块，可夹持不同口径的异形或矩形光学元件；采用本发明的装置及方法可在通用单轴机、快抛机和环抛机上实现高效、稳定的加工，加工后元件侧面可实现全面均匀抛亮，面形误差优于1μm，并可通过调整各螺纹预紧力来改善侧边的垂直度。

主权项

大口径光学元件侧边抛光的装夹装置，其特征在于：包括基体(1)，在所述基体(1)上设置有多个与大口径光学元件(7)的侧边和/或工作面贴合的位移可调的挡块(5)，以保证对大口径光学元件(7)的侧边进行精密定位。