多晶硅生产过程中产生的高温废氮气的回收利用装置

摘要

本实用新型提供一种多晶硅生产过程中产生的高温废氮气的回收利用装置，包括：过滤单元，其输入端接入高温废氮气，其输出端与冷却单元的输入端相连，用于去除高温废氮气中的固体颗粒杂质，并将已去除固体颗粒杂质的高温废氮气输出至冷却单元；冷却单元，其输出端与吸附单元的第一输入端相连，用于对已去除固体颗粒杂质的高温废氮气进行降温处理，并将低温废氮气输出至吸附单元；吸附单元，其输出端与氮气用户相连，其内填装有吸附剂，用于去除低温废氮气中的气体杂质，并将纯化后的低温氮气输出至氮气用户。本实用新型所述回收利用装置不但能有效回收利用高温废氮气中的氮气，还能有效降低高温废氮气对环境的污染。

主权项

一种多晶硅生产过程中产生的高温废氮气的回收利用装置，其特征在于，包括过滤单元、冷却单元和吸附单元，所述过滤单元的输入端接入所述高温废氮气，其输出端与冷却单元的输入端相连，用于去除所述高温废氮气中的固体颗粒杂质，并将已去除固体颗粒杂质的高温废氮气输出至冷却单元；所述冷却单元的输出端与吸附单元的第一输入端相连，用于对所述已去除固体颗粒杂质的高温废氮气进行降温处理，以形成低温废氮气，并将所述低温废氮气输出至吸附单元；所述吸附单元的输出端与氮气用户相连，其内填装有吸附剂，用于去除所述低温废氮气中的气体杂质，以形成纯化后的低温氮气，并将所述纯化后的低温氮气输出至氮气用户。