主权项 |
一种用于键合包括衬底的电子器件的键合装置,该键合装置包含有:相互相邻设置的第一轨道和第二轨道,其被配置来在沿着第一轨道和第二轨道传送期间在垂直方位上定位衬底;键合系统,其设置在第一键合位置和第二键合位置上方,第一键合位置沿着第一轨道设置,第二键合位置沿着第二轨道设置;第一排列机和第二排列机,第一排列机相邻于第一轨道设置,第二排列机相邻于第二轨道设置,当在一个轨道上固定的衬底被键合时,每个排列机独立地操作来沿着另一个轨道传送衬底;输入料盒,其设置在第一与第二轨道的一端,用于以直立方向固定多个未键合的衬底,并被操作来直接进给未键合的衬底到第一与第二轨道上;以及输出料盒,位于第一与第二轨道的相对端上以用于以直立方向固定多个键合的衬底;其中该第一与第二轨道的每一个被建构且操作为将衬底从该输入料盒运输到该输出料盒,且一介于第一与第二轨道之间的距离可调整来分别与第一和第二轨道与输入料盒以及输出料盒之一衬底分区间隔的倍数对齐定位,以使得未键合的衬底可同时自该输入料盒接收,且已键合的衬底可同时卸载至该输出料盒,该衬底分区间隔系为该输入料盒与该输出料盒中用来分开相邻衬底之两相邻隔间之间的距离。
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