| 主权项 |
一种正型光阻组成物，其特征系含有：(A)藉由照射活性光线或放射线而产生酸之化合物；(B)藉由酸的作用而对硷性显像液的溶解度增加，且具有羟基苯乙烯作为重复单位之酸分解性树脂；及(C)由下述通式(Ia)或(Ib)所示之藉由酸的作用而分解来产生酸之化合物；并且进一步含有铵盐化合物；
在通式(Ia)及(Ib)，R1系表示烷基、环烷基、烷氧基、芳基或芳氧基，R2系表示烷基或环烷基，R1与R2亦可键结而形成单环或多环的环状烃结构，R3及R4系各自独立地表示氢原子或烷基，X系表示-SO2-、-SO-或-CO-，Z系表示以ZH表示之有机酸的残基，Ry1~Ry3系各自独立地表示烷基或环烷基，Ry1~Ry3之中的至少2个亦可键结而形成单环或多环的环状烃结构，但是，Ry1~Ry3之中的至少1个系表示环烷基或是Ry1~Ry3之中的至少2个系键结而形成单环或多环的环状烃结构，
Ry4系表示氢原子、烷基或环烷基，Ry5系表示环烷基，Ry4亦可与Ry5键结而形成单环或多环的环状烃结构。 |
