消弭焊料共平面差异之不等高柱状凸块结构;PILLAR BUMP STRUCTUR HAVING NON-EQUAL HEIGHTS TO ERASE SOLDER CO-PLANARITY DIFFERENCE

摘要

揭示一种消弭焊料共平面差异之不等高柱状凸块结构，包含一晶片、两种不同之柱状凸块以及在柱状凸块上之焊料。晶片主动面具有一焊垫以及一保护层。一柱状凸块设置于焊垫上并具有一较低之焊接顶面。另一柱状凸块设置于保护层上并具有一较高之焊接顶面。具较高焊接顶面之柱状凸块具有由其焊接顶面往内凹入之裂痕，以容纳部份之焊料，使得不等高柱状凸块达到共平面焊料接合，并能简化凸块制程步骤与得到良好凸块焊接之功效。