平板基板之表面状态检查方法及使用其之平板基板之表面状态检查装置

摘要

提供一种可检测以往无法检测的极为微细的擦痕、裂痕等的平板基板表面状态检查装置。具备有：至少2个投光系，其系在平板基板的表面侧，相对基板法线，以预定的入射角将雷射光由不同方向照射在表面；至少2个受光系，其系被设在表面侧，以雷射光的照射点为基准，在与投光系为相反侧的位置，以分别与投光系相对向的方式而设；雷射光成形手段，其系以各雷射光被照射在平板基板的表面的雷射光照射区域成为矩形的方式将雷射光成形；照射区域隔离调整手段，其系将被成形为矩形的各雷射光照射区域的隔离，以矩形的扫描方向的投影长度或各雷射光照射区域不相重叠的长度亦即非重复长度，调整各投光系及各受光系；及进给间隔调整手段，其系将朝轴方向进给的预定间隔，调整为投影长度或前述非重复长度以上、或前述投影长度或非重复长度的整数倍。