绘图装置及绘图方法

摘要

获致绘图装置及绘图方法，其在对被绘图体的倾斜形状之绘图区域绘制图案时，使图案光聚焦于倾斜绘图区域以提高图案的解析度，防止图案的变形，使图案光垂直入射于倾斜绘图区域的光阻膜以提高图案之解析度。绘图装置，其藉由光调变元件对被绘图体照射绘图光，将该被绘图体对该绘图光连续扫瞄，同时将图案绘制在该被绘图体，该绘图装置包括：固持该被绘图体的固持装置；测定装置，其测定由该固持装置所固持的该被绘图体之被绘图面的倾斜；倾斜调整装置，其调整该固持装置的倾斜；倾斜控制装置，其对应于该测定装置的测定结果，控制该倾斜调整装置，以使得该绘图光略垂直地入射到该被绘图体的被绘图面。