| 摘要 |
<p>본 발명은 마이크로캐리어(19, 20)를 제조하는 방법으로서, (a) 하부 층(7), 상부 층(8) 및 상기 하부 층(7)과 상기 상부 층(8) 사이에 위치된 절연 층(9)을 포함하는 샌드위치 구조를 갖는 웨이퍼(6)를 제공하는 단계; (b) 상기 마이크로캐리어의 몸체(11)의 측벽(12)의 윤곽을 나타내도록 상기 상부 층(8)을 에칭 제거하는 단계; (c) 상기 몸체(11)의 적어도 상부 표면(14) 상에 제1 활성 층(13)을 퇴적시키는 단계; (d) 상기 제1 활성 층(13) 위에 연속적인 폴리머 층(16)을 도포하는 단계; (e) 상기 하부 층(7) 및 상기 절연 층(9)을 에칭 제거하는 단계; 및 (f) 상기 폴리머 층(16)을 제거하여 상기 마이크로캐리어를 공개시키는 단계를 포함하는, 마이크로캐리어의 제조 방법에 관한 것이다.</p> |
