发明名称 |
一种ITO膜磁控溅射磁悬浮车靶均匀加热装置 |
摘要 |
一种ITO膜磁控溅射磁悬浮车靶均匀加热装置,确保在大型连续性生产氧化铟锡膜中,通过控制对磁控溅射磁悬浮车靶的各部位的加热温度,使ITO薄膜得到整版均匀性良好的电阻,电阻率达到2×10<sup>-4</sup>Ω/cm、透过率达到90%以上;明显提高ITO薄膜的产品质量,大大提高工作效率,节约生产成本,延长使用寿命2倍以上,确实节能环保。是由:连续性真空磁控溅射镀膜设备室,真空室温控门,真空门加热器,真空门均温加热器,磁控溅射磁悬浮车靶装置,真空墙体上加热器,真空墙体中间加热器,真空墙体下加热器,真空室温控后墙体,钐钴磁铁装置构成;连续性真空磁控溅射镀膜设备室的一侧设置真空室温控门,另一侧设置真空室温控后墙体。 |
申请公布号 |
CN204265837U |
申请公布日期 |
2015.04.15 |
申请号 |
CN201420770327.2 |
申请日期 |
2014.11.29 |
申请人 |
洛阳康耀电子有限公司 |
发明人 |
谭华;秦遵红;王恋贵;董安光 |
分类号 |
C23C14/35(2006.01)I;C23C14/08(2006.01)I |
主分类号 |
C23C14/35(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
一种ITO膜磁控溅射磁悬浮车靶均匀加热装置,是由:连续性真空磁控溅射镀膜设备室(1),真空室温控门(2),真空门加热器(3),真空门均温加热器(3‑1),磁控溅射磁悬浮车靶装置(4),真空墙体上加热器(5),真空墙体中间加热器(6),真空墙体下加热器(7),真空室温控后墙体(8),钐钴磁铁装置(9)构成;其特征在于:连续性真空磁控溅射镀膜设备室(1)的一侧设置真空室温控门(2),另一侧设置真空室温控后墙体(8);真空室温控后墙体(8)与真空室温控门(2)之间对应设置磁控溅射磁悬浮车靶装置(4),磁控溅射磁悬浮车靶装置(4)上方对应设置钐钴磁铁装置(9)。 |
地址 |
471000 河南省洛阳市孟津县华阳产业集聚区创业中心三楼 |