发明名称 GaN基LED外延片及其形成方法
摘要 本发明提出一种GaN基LED外延片及其形成方法,该GaN基LED外延片包括:衬底;和外延层,外延层位于衬底之上,包括依次堆叠的以下结构层:N型GaN层;位于N型GaN层一侧的第一InGaN/GaN多量子阱层;位于第一InGaN/GaN多量子阱层一侧的第二InGaN/GaN多量子阱层;位于第二InGaN/GaN多量子阱层一侧的P型GaN层,其中,第一InGaN/GaN多量子阱层中的阱层生长温度为T1,第二InGaN/GaN多量子阱层中的阱层生长温度为T2,其中T1>T2。本发明的GaN基LED外延片及其形成方法具有蓝移值小、发光稳定性高等优点。
申请公布号 CN104518057A 申请公布日期 2015.04.15
申请号 CN201310451946.5 申请日期 2013.09.27
申请人 比亚迪股份有限公司 发明人 肖怀曙;谢春林
分类号 H01L33/06(2010.01)I;H01L33/32(2010.01)I;H01L33/00(2010.01)I 主分类号 H01L33/06(2010.01)I
代理机构 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 代理人 张大威
主权项 一种GaN基LED外延片,其特征在于,包括:衬底;和外延层,所述外延层位于所述衬底之上,包括依次堆叠的以下结构层:N型GaN层;位于所述N型GaN层一侧的第一InGaN/GaN多量子阱层;位于所述第一InGaN/GaN多量子阱层一侧的第二InGaN/GaN多量子阱层;位于所述第二InGaN/GaN多量子阱层一侧的P型GaN层,其中,所述第一InGaN/GaN多量子阱层中的阱层生长温度为T1,所述第二InGaN/GaN多量子阱层中的阱层生长温度为T2,其中T1>T2。
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