发明名称 |
GaN基LED外延片及其形成方法 |
摘要 |
本发明提出一种GaN基LED外延片及其形成方法,该GaN基LED外延片包括:衬底;和外延层,外延层位于衬底之上,包括依次堆叠的以下结构层:N型GaN层;位于N型GaN层一侧的第一InGaN/GaN多量子阱层;位于第一InGaN/GaN多量子阱层一侧的第二InGaN/GaN多量子阱层;位于第二InGaN/GaN多量子阱层一侧的P型GaN层,其中,第一InGaN/GaN多量子阱层中的阱层生长温度为T1,第二InGaN/GaN多量子阱层中的阱层生长温度为T2,其中T1>T2。本发明的GaN基LED外延片及其形成方法具有蓝移值小、发光稳定性高等优点。 |
申请公布号 |
CN104518057A |
申请公布日期 |
2015.04.15 |
申请号 |
CN201310451946.5 |
申请日期 |
2013.09.27 |
申请人 |
比亚迪股份有限公司 |
发明人 |
肖怀曙;谢春林 |
分类号 |
H01L33/06(2010.01)I;H01L33/32(2010.01)I;H01L33/00(2010.01)I |
主分类号 |
H01L33/06(2010.01)I |
代理机构 |
北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 |
代理人 |
张大威 |
主权项 |
一种GaN基LED外延片,其特征在于,包括:衬底;和外延层,所述外延层位于所述衬底之上,包括依次堆叠的以下结构层:N型GaN层;位于所述N型GaN层一侧的第一InGaN/GaN多量子阱层;位于所述第一InGaN/GaN多量子阱层一侧的第二InGaN/GaN多量子阱层;位于所述第二InGaN/GaN多量子阱层一侧的P型GaN层,其中,所述第一InGaN/GaN多量子阱层中的阱层生长温度为T1,所述第二InGaN/GaN多量子阱层中的阱层生长温度为T2,其中T1>T2。 |
地址 |
518118 广东省深圳市坪山新区比亚迪路3009号 |