| 摘要 |
【課題】セラミック製の定盤（トレーを含む）上に載置されるガラス基板を金属製の位置決めピースで位置決めするに際し、位置決めピースを、定盤上で揺れたり傾きが生じないように、適切に支持することが可能であって、ガラス基板を破損しないように、より安全に位置決めすることが可能な定盤ユニットを提供する。【解決手段】セラミック製の定盤に、ガラス基板を位置決めする穴部に挿入して、金属製の位置決めピース５を設け、位置決めピースは、その長さ方向が穴部の配列方向に沿い、その底面７ｂが定盤上面に当接されて、位置決めピース全体を定盤上に支持する支持ブロック部７と、支持ブロック部から一体的に垂下形成され、穴部にルーズに挿入されるピン部８と、支持ブロック部内方に形成された挿入部１０とを備え、隣接する一対の位置決めピースの間には、位置決めピースが定盤上で穴部回りに回転することを規制する連結ロッド６が設けられる。【選択図】図６ |
