| 发明名称 | 晶圆搬运机械手 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种晶圆搬运机械手，其特征在于，包括基板；所述基板上设有风道，所述风道设置有进风口和出风口；所述进风口与所述出风口通过所述风道连通；气体自所述进风口吹入所述风道后从所述出风口吹出；所述基板上设有多个沉孔，多个所述沉孔沿圆周方向分布；所述出风口开设于所述沉孔的侧壁上；每个沉孔的侧壁上设置至少一个所述出风口。本实用新型提供的晶圆搬运机械手，当基板贴近晶圆时，利用沉孔侧壁吹出的气形成涡流，在沉孔形成负压。利用负压可吸附晶圆，将晶圆吸附在基板上。 | ||
| 申请公布号 | CN204271064U | 申请公布日期 | 2015.04.15 |
| 申请号 | CN201420744635.8 | 申请日期 | 2014.12.01 |
| 申请人 | 上海技美电子科技有限公司 | 发明人 | 韩良华 |
| 分类号 | H01L21/687(2006.01)I;H01L21/683(2006.01)I;B25J9/08(2006.01)I;B25J15/06(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/687(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海脱颖律师事务所 31259 | 代理人 | 李强 |
| 主权项 | 晶圆搬运机械手，其特征在于，包括基板；所述基板上设有风道，所述风道设置有进风口和出风口；所述进风口与所述出风口通过所述风道连通；气体自所述进风口吹入所述风道后从所述出风口吹出；所述基板上设有多个沉孔，多个所述沉孔沿圆周方向分布；所述出风口开设于所述沉孔的侧壁上；每个沉孔的侧壁上设置至少一个所述出风口。 | ||
| 地址 | 201100 上海市闵行区黎安路1126号7-9楼 | ||