| 主权项 |
一种工具机振动载台，系用以连接气体供应源，而让加工器件在气浮状态下振动，包括：第一振动平板，供设置该加工器件；第二振动平板，供置放该第一振动平板；气浮平台，供置放该第二振动平板；多个气体接收道，系分别设于该第一振动平板、第二振动平板或气浮平台，以接收该气体供应源的气体，而在该第一振动平板与第二振动平板、和该第二振动平板与气浮平台间形成气浮膜；多个致动器，系为电磁致动器，分别对应该第一、第二振动平板的侧边而设置，分别在不同方向致动该第一、第二振动平板；第一弹性体，两端分别连接该第一振动平板与该第二振动平板，以提供弹性力使在该第二振动平板上致动后的第一振动平板回位；以及第二弹性体，两端分别连接该第二振动平板与该气浮平台，以提供弹性力使在该气浮平台上致动后的第二振动平板回位。
|
