| 主权项 |
一种薄膜太阳能电池退火装置，适于对一含有第VIA族元素的薄膜太阳能电池进行退火制程，包含：至少一退火室；一载具，用以被设置在该至少一退火室内，该载具包含：一第一载板；一第二载板；及一间隔装置，隔离该第一载板与该第二载板，用以调整该第一载板与该第二载板间的距离，使该第一载板与该第二载板间形成一容置空间，以容置该含有第VIA族元素的薄膜太阳能电池；一加热器，设于该至少一退火室，用以隔着该载具对该含有第VIA族元素的薄膜太阳能电池加热；以及一传送装置，设于该至少一退火室，用以将该载具传送至该至少一退火室，其中该间隔装置包含：一第一间隔板，设于该载具之一第一侧，且位于该第一载板与该第二载板间；一第二间隔板，设于该载具之一第二侧，且位于该第一载板与该第二载板间，该第二侧相对于该第一侧；及
一间距调整元件，位于该第一间隔板及该第一载板间，用以调整该第一载板与该第二载板间的距离。
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