位移测量方法及位移测量装置

主权项

一种位移测量方法，包括下述步骤：从点状光源射出具有扩散光谱的光；使前述光产生轴上色差的同时，藉光学元件使产生该轴上色差的光会聚于测量对象物；就前述光学元件会聚的光中，使要在前述测量对象物对焦的光通过开口；求取通过前述开口之光的光谱；及根据前述光谱的尖峰波长，求得前述光学元件和前述测量对象物间的距离，其特征在具备：求得前述测量对象物的分光反射特性的步骤；及使用前述求得的分光反射特性，以减轻该分光反射特性对距离测量造成的误差的方式求得前述距离的步骤。