膜总成及具有该膜总成之承载头

主权项

一种在一化学机械抛光装置中之一承载头的膜总成，其包含：一主要膜，其具有在执行一化学机械抛光制程时与一晶圆接触之一晶圆接触表面；一划分膜，该划分膜具有用于界定数个腔室之至少一分割区且安置于该主要膜之一顶表面上；一圆形环，其安置于该主要膜之一边缘部分处且收纳一空气压力从而将该空气压力向下施加至该主要膜；其中该主要膜之该边缘部分包含一边缘翼形部，且该边缘翼形部包含向下形成于该边缘翼形部之内表面上且提供一收纳沟槽的一突起部分；且其中该主要膜包含一定位突起，该定位突起形成于该主要膜之该顶表面上之一位置处，对应于该划分膜之一中心通孔。