| 主权项 |
一种感光化射线性或感放射线性树脂组成物，其包含：(A)树脂，其具有至少二种由下列通式(1)所表示的重覆单元，及当藉由酸作用时在硷性显影剂中的溶解度增加；及(B)化合物，其当曝露至光化射线或放射线时产生酸；其中该树脂(A)具有至少一种由下列通式(1-1)所表示的重覆单元作为由通式(1)所表示的重覆单元；
其中：R代表氢原子或选择性经取代的烷基；A代表：R0，于二或更多个基团存在下，分别各自独立地代表选择性经取代的伸烷基、选择性经取代的伸环烷基或其组合，其附带条件为当L代表丁内酯时排除具有二或更多个碳原子之伸烷基；Z，于二或更多个基团存在下，分别各自独立地代表醚键、酯键、醯胺基键、胺基甲酸酯键或尿素键；L代表具有内酯结构之取代基；及n代表重覆数目且为整数1至5，其中：R、A、R0、Z及n如上述通式(1)的定义；R1，于二或更多个基团存在下，分别各自独立地代表选择性经取代的烷基、选择性经取代的环烷基、选择性经取代的酯基团、氰基、羟基或烷氧基，且其条件为存在二或更多个R1，其二个可彼此键结以形成一环；X代表伸烷基、氧原子或硫原子；及m代表取代基数目且为整数0至5。 |
