| 摘要 |
1. Газоразрядный эксимерный лазер, включающий в себя газонаполненный корпус (1), на котором установлена керамическая разрядная камера (2) с протяженным высоковольтным фланцем (3), расположенные в разрядной камере (2) протяженные высоковольтный электрод (4), заземленный электрод (5), зона объемного разряда (6) между высоковольтным и заземленным электродами (4), (5), по меньшей мере, один блок предыонизации (7), набор конденсаторов (8), расположенных по бокам разрядной камеры и соединенных с высоковольтным и заземленным электродами (4), (5), источник питания (9), подключенный к конденсаторам (8), и резонатор, при этом каждый блок предыонизации (7) содержит систему формирования скользящего разряда (CP), включающую в себя протяженную диэлектрическую пластину (11), имеющую в поперечном сечении изогнутую форму, поджигающий электрод (12), установленный на лицевой поверхности (13) диэлектрической пластины (11) вдоль нее, и протяженный инициирующий электрод (14), примыкающий к обратной поверхности (15) диэлектрической пластины (11), причем, по меньшей мере, примыкающая к инициирующему электроду (14) протяженная часть обратной поверхности (15) диэлектрической пластины (11) является цилиндрической.2. Устройство по п.1, в котором два идентичных блока предионизации (7) расположены по бокам высоковольтного электрода (4).3. Устройство по п.1, в котором конденсаторы (8) подсоединены к высоковольтному электроду (4) через установленные в высоковольтном фланце (3) вдоль него герметичные токовводы (23), каждый из которых снабжен керамическим изолятором (24), при этом источник питания (9) электрически связан с каждым блоком предыонизации (7) через высоковольтный фланец (3).4. Устр� |
