| 发明名称 | 一种适应不同尺寸晶圆的夹持装置 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种适应不同尺寸晶圆的夹持装置，其特征是，包括抓杆、夹持部（3），伸缩圆环（1），所述抓杆包括三个上端连接在所述伸缩圆环（1）上的弧形抓杆（2）；所述弧形抓杆（2）的下端连接所述夹持部（3）；所述弧形抓杆（2）上的中部设置有滑槽（5）；所述滑槽（5）上设置箍环（4）；所述夹持部（3）为呈圆弧形的夹持杆；所述夹持部（3）的内侧设置圆弧形卡槽（31）；所述圆弧形卡槽（31）的表面设置橡胶；所述箍环（4）与滑槽（5）相交处设置卡扣（6）；本发明结构简单，能够准确固定晶圆，适应不同尺寸的晶圆，方便实用。 | ||
| 申请公布号 | CN104493690A | 申请公布日期 | 2015.04.08 |
| 申请号 | CN201410818866.3 | 申请日期 | 2014.12.25 |
| 申请人 | 苏州凯锝微电子有限公司 | 发明人 | 刘思佳 |
| 分类号 | B24B37/27(2012.01)I | 主分类号 | B24B37/27(2012.01)I |
| 代理机构 | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人 | 董建林 |
| 主权项 | 一种适应不同尺寸晶圆的夹持装置，其特征是，包括抓杆、夹持部（3），伸缩圆环（1），所述抓杆包括三个上端连接在所述伸缩圆环（1）上的弧形抓杆（2）；所述弧形抓杆（2）的下端连接所述夹持部（3）；所述弧形抓杆（2）上的中部设置有滑槽（5）；所述滑槽（5）上设置箍环（4）。 | ||
| 地址 | 215000 江苏省苏州市高新区珠江路525号 | ||