应用于相干照明的扩束镜光学系统

摘要

本发明涉及应用于相干照明的扩束镜光学系统，包括按照光波照射方向依次排列的第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜和第五透镜，所述第一透镜为平凹透镜，所述第二透镜为双凹透镜，所述第三透镜和第四透镜均为弯月透镜，所述第五透镜为双凸透镜；所述第一透镜的左侧面、第二透镜的左侧面、第三透镜的左侧面、第四透镜的左侧面和第五透镜的左侧面均设置在光波入射的一侧。本发明的优越效果在于：所述扩束镜光学系统基于光束传输理论，通过第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜和第五透镜的光学镜面面形优化，在623nm至643nm工作波段内的透过率大于97％，具有良好的透光性。

主权项

应用于相干照明的扩束镜光学系统，其特征在于，包括按照光波照射方向依次排列的第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜和第五透镜，所述第一透镜为平凹透镜，所述第一透镜的左侧面为平面，第一透镜的右侧面是曲率半径为2.347mm的凹球面；所述第二透镜为双凹透镜，第二透镜的左侧面是曲率半径为37.127mm的凹球面，第二透镜的右侧面是曲率半径为63.433mm的凹球面；所述第三透镜和第四透镜均为弯月透镜，第三透镜的左侧面是曲率半径为76.573mm的凸球面，第三透镜的右侧面是曲率半径为76.178mm的凹球面；第四透镜的左侧面是曲率半径为191.127mm的凹球面，第四透镜的右侧面是曲率半径为71.067mm的凸球面；所述第五透镜为双凸透镜，第五透镜的左侧面是曲率半径为4913.121mm的凸球面，第五透镜的右侧面是曲率半径为79.563mm的凸球面；所述第一透镜的左侧面、第二透镜的左侧面、第三透镜的左侧面、第四透镜的左侧面和第五透镜的左侧面均设置在光波入射的一侧。