发明名称 表面声波器件、表面声波振荡器以及电子设备
摘要 本发明提供表面声波器件、表面声波振荡器以及电子设备,它们能够实现良好的频率温度特性。表面声波器件的特征在于,具有石英基板(30)和激励出阻带上端模式的表面声波的IDT(12),石英基板(30)的欧拉角为<img file="DDA0000601602070000011.GIF" wi="680" he="59" /><img file="DDA0000601602070000012.GIF" wi="1852" he="742" />
申请公布号 CN104506159A 申请公布日期 2015.04.08
申请号 CN201410616565.2 申请日期 2011.08.24
申请人 精工爱普生株式会社 发明人 大胁卓弥;山人
分类号 H03H9/02(2006.01)I;H03H9/25(2006.01)I 主分类号 H03H9/02(2006.01)I
代理机构 北京三友知识产权代理有限公司 11127 代理人 李辉;黄纶伟
主权项 一种表面声波器件,其特征在于,该表面声波器件包含:以下三种石英基板中的任意一者:第1石英基板,其欧拉角为<img file="FDA0000601602040000011.GIF" wi="381" he="72" /><img file="FDA0000601602040000012.GIF" wi="1853" he="654" /><img file="FDA0000601602040000013.GIF" wi="529" he="74" />第2石英基板,其欧拉角为<img file="FDA0000601602040000014.GIF" wi="711" he="79" /><img file="FDA0000601602040000015.GIF" wi="1852" he="568" /><img file="FDA0000601602040000016.GIF" wi="1723" he="85" />以及第3石英基板,其欧拉角为<img file="FDA0000601602040000017.GIF" wi="1243" he="79" /><img file="FDA0000601602040000018.GIF" wi="1853" he="560" /><img file="FDA0000601602040000019.GIF" wi="1781" he="76" />以及叉指换能器,其由设置在所述石英基板的主面上的多个电极指构成,激励出阻带上端模式的表面声波,俯视时,在所述石英基板的位于所述电极指之间的部分处设有电极指间槽,在设所述表面声波的波长为λ,所述叉指换能器的线占有率为η,所述电极指间槽的深度为G时,满足如下关系:0.01λ≤G≤0.094λ<maths num="0001" id="cmaths0001"><math><![CDATA[<mrow><mo>-</mo><mn>2.5</mn><mo>&times;</mo><mfrac><mi>G</mi><mi>&lambda;</mi></mfrac><mo>+</mo><mn>0.675</mn><mo>&le;</mo><mi>&eta;</mi><mo>&le;</mo><mo>-</mo><mn>2.5</mn><mo>&times;</mo><mfrac><mi>G</mi><mi>&lambda;</mi></mfrac><mo>+</mo><mn>0.775</mn></mrow>]]></math><img file="FDA0000601602040000021.GIF" wi="892" he="139" /></maths>在设所述电极指的膜厚为H时,满足如下关系:0<H≤0.035λ。
地址 日本东京都