| 发明名称 | 一种高选择性钛层腐蚀液组合物 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种高选择性钛层腐蚀液组合物，其特征在于，所述组合物的组分及重量百分比分别为：浓度为30%的过氧化氢10～30%、过氧化氢稳定剂0.01～0.1%、金属络合剂0.01～0.1%、表面活性剂0.01～0.1%和余量水。该钛层腐蚀液组合物选择性优异，钛层腐蚀均匀，腐蚀过程稳定且速率适中，腐蚀液寿命达到预期。 | ||
| 申请公布号 | CN104498950A | 申请公布日期 | 2015.04.08 |
| 申请号 | CN201410721460.3 | 申请日期 | 2014.12.02 |
| 申请人 | 江阴润玛电子材料股份有限公司 | 发明人 | 戈士勇 |
| 分类号 | C23F1/14(2006.01)I | 主分类号 | C23F1/14(2006.01)I |
| 代理机构 | 江阴大田知识产权代理事务所(普通合伙) 32247 | 代理人 | 杜兴 |
| 主权项 | 一种高选择性钛层腐蚀液组合物，其特征在于，所述组合物的组分及重量百分比分别为：过氧化氢10～30%、过氧化氢稳定剂0.01～0.1%、金属络合剂0.01～0.1%、表面活性剂0.01～0.1%和余量水。 | ||
| 地址 | 214400 江苏省无锡市江阴市周庄镇欧洲工业园区 | ||