| 摘要 |
광학 측정 장치(1)는 한쪽 평면에 제1 개구(10)를 가짐과 함께, 다른 쪽 평면에 제2 개구(18)를 갖는 중공의 원통 형상 부재(2)와, 원통 형상 부재의 중심축인 제1 축을 따라서 원통 형상 부재를 회전시키기 위한 회전 기구(52, 54)와, 제1 축 상이며, 또한 조사되는 광이 제1 개구를 통해서 원통 형상 부재의 내부로 입사하는 위치인 측정 위치에, 광원(30)을 배치하기 위한 지지부(20, 22)와, 원통 형상 부재의 내부에 배치되고, 광원으로부터 제1 개구를 통해서 입사하는 광을 반사하는 제1 반사부(12)와, 원통 형상 부재의 내부 광을 반사하고, 상기 광을 제2 개구를 통해서 제1 축을 따라서 원통 형상 부재의 외부로 전파시키기 위한 제2 반사부 (14)와, 제1 반사부에서 반사된 광을 제2 반사부로 입사시키기 위한 적어도 1개의 제3 반사부(16)를 포함한다. |
