| 发明名称 |
SYMMETRICAL INDUCTIVELY COUPLED PLASMA SOURCE WITH COAXIAL RF FEED AND COAXIAL SHIELDING |
| 摘要 |
<p>플라즈마 반응기는 대칭적 RF 피드들(feeds) 및 대칭적 RF 피드들 주위의 대칭적 RF 실딩을 갖는 복수의 오버헤드 코일 유도 플라즈마 소스를 갖는다.</p> |
| 申请公布号 |
KR20150038130(A) |
申请公布日期 |
2015.04.08 |
| 申请号 |
KR20157004230 |
申请日期 |
2013.06.05 |
| 申请人 |
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发明人 |
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| 分类号 |
C23C16/509;H01J37/32;H05H1/46 |
主分类号 |
C23C16/509 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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