| 摘要 |
<p>[과제] 압력식 유량 제어 장치로부터의 가스류를 복수의 분류로를 통해서 분류 공급하는 가스 분류 공급 장치에 있어서 가스 도입시의 분류로에 있어서의 가스의 오버슛의 발생을 방지한다. [과제해결 수단] 압력식 유량 제어 장치(4)와, 압력식 유량 제어 장치(4)로부터의 가스를 프로세스 챔버(15)로 분류 공급하는 병렬로 접속한 복수의 분류로(L~Ln)와, 각 분류로(L~Ln)에 개재한 열식 유량 센서(6a~6n)와, 열식 유량 센서(6a~6n)의 하류측에 설치된 전동 밸브(7a~7n)와, 각 전동 밸브(7a~7n)의 개폐를 제어하는 스위칭형 컨트롤러(16a~16n)를 구비함과 아울러 상기 스위칭형 컨트롤러(16a~16n)를 밸브 개도 제어 지령 신호(Sp)에 의해 전동 밸브(7a~7n)를 소정의 일정 밸브 개도로 유지하는 밸브 개도 제어와, 분류량 제어 지령 신호(Ss)에 의해 열식 유량 센서(6)의 유량 검출 신호(Sm)에 의거한 피드백 제어로 전동 밸브(7a~7n)의 개도를 조절하는 분류량 제어로 스위칭 가능하게 한다.</p> |
