一种厚层光刻胶涂覆装置

摘要

厚层光刻胶涂覆装置，属于光刻技术领域，为解决现有技术无法进行上百微米的厚胶涂覆问题，承载平台上安装第一调节螺丝组，第一水平检测仪放置在承载平台上，承载平台上安装直线导轨副，其中两条导轨平行，直线导轨副上分别安装导轨滑套，两个导轨滑套通过两套高低调节组件与光刻胶涂覆移动机构相连，在光刻胶涂覆移动机构整体长度1/2处垂直安装第一推拉杆，第一推拉杆的另一侧通过万向轴承的一侧相连，第一推拉杆与第二推拉杆成一条直线，第二推拉杆与直线电机动子相连，直线电机定子固定在承载平台上；光学基底承载台安装在直线导轨副中间，其上放置光学基底，在光学基底承载台上安装第二调节螺丝组，第二水平检测仪设置在光学基底承载台上。

主权项

一种厚层光刻胶涂覆装置，其特征是，在承载平台(12)上安装有第一调节螺丝组(13)用于对承载平台(12)调平，使用第一水平检测仪(14)检测承载平台(12)的水平度；在承载平台(12)上安装有直线导轨副(15)，直线导轨副(15)的两条导轨成平行放置，每条直线导轨副(15)上各安装一个导轨滑套(16)，两个导轨滑套(16)通过两套高低调节组件(17)与光刻胶涂覆移动机构(18)相连接；在光刻胶涂覆移动机构(18)整体长度二分之一处垂直安装第一推拉杆(19)，第一推拉杆(19)的另一侧通过万向轴承(20)与第二推拉杆(21)相连接，第一推拉杆(19)与第二推拉杆(21)在万向轴承(20)两侧成一条直线，第二推拉杆(21)的另一侧与直线电机动子(23)相连接；直线电机动子(23)与直线电机定子(22)共同组成直线电机，直线电机定子(22)固定在承载平台(12)上；光学基底承载台(25)安装在两条直线导轨副(15)之间，光学基底(24)放置在光学基底承载台(25)上，在光学基底承载台(25)上安装有第二调节螺丝组(26)用于对光学基底承载台(25)调平，使用第二水平检测仪(27)检测光学基底承载台(25)的水平度，在光学基底承载台(25)四周配置有固定螺丝组(28)。