DEVELOPING SOLUTION PROCESSING DEVICE AND PROCESSING METHOD

摘要

본 발명은 스컴 발생에 수반하는 문제를 해소해서 제품 불량률의 개선, 제조 장치의 가동률 향상 또는 고효율의 귀금속 회수에 의한 제조 비용 저감 등에 크게 기여하는 현상액의 처리 장치 및 처리 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다. 본 발명은 현상 처리 후의 현상액을 원심 분리에 의해 청징액과 잔사를 분리하는 원심 분리기와, 상기 청징액을 탈포해서 배출하는 탈포 장치를 구비하는 현상액의 처리장치를 제공한다.