发明名称 ORGANIC ANTI-REFLECTIVE COATING POLYMER, ITS PREPARATION METHOD AND ORGANIC ANTI-REFLECTIVE COATING COMPOSITION COMPRISING THE SAME
摘要
申请公布号 KR20050036283(A) 申请公布日期 2005.04.20
申请号 KR20030071915 申请日期 2003.10.15
申请人 HYNIX SEMICONDUCTOR INC. 发明人 JUNG, JAE CHANG;KIM, YOUNG SIK;KONG, KEUN KYU
分类号 G03F7/039;G03C1/76;G03F7/09;(IPC1-7):G03F7/039 主分类号 G03F7/039
代理机构 代理人
主权项
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