发明名称 |
A reactor system and method of polycrystalline silicon production therewith |
摘要 |
<p>다결정 실리콘의 금속 오염을 감소 또는 경감시키는 방법 및 시스템이 개시된다. 유동층 반응기 유닛의 이송 지원 설비 및 보조 기반 설비의 부품들이 금속 표면과 접촉하여 발생하는 과립형 다결정 실리콘의 금속 오염은, 초미세 엘라스토머성 폴리우레탄을 포함하는 보호 코팅을 사용하여 경감된다.</p> |
申请公布号 |
KR20150036704(A) |
申请公布日期 |
2015.04.07 |
申请号 |
KR20157004213 |
申请日期 |
2013.07.17 |
申请人 |
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发明人 |
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分类号 |
B01J19/00;B01J19/02;C01B33/027;C01B33/12 |
主分类号 |
B01J19/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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