| 摘要 |
이 ZnO막의 제조 방법은, 설치대(3)에 상기 기판(2)을 배치하는 설치 공정과, 제어 장치(CONT)에 의해, 염소 가스 공급원으로부터 제1 원료 수용부(R1)에 염소 가스를 공급하고, 또한, 제3 가스 공급원(산소 가스 공급원)(G3)으로부터 반응 용기(1) 내에 산소 가스를 공급하면서, 제1 원료 수용부(R1)의 온도(T1), 제2 원료 수용부(R2)의 온도(T2), 기판(2)이 배치된 설치대(3)의 온도(T3)가, T1<T2<T3의 관계를 만족하도록, 가열 수단(히터(H1, H2, H3))을 제어하는 성막 공정을 구비하고 있고, 이 제조 방법에 의하면, 고품질의 ZnO막을 제조할 수 있다. |
