| 发明名称 |
METHOD FOR PRODUCING AN ELECTRONIC COMPONENT AND ELECTRONIC COMPONENT |
| 摘要 |
소자의 밀봉을 위한 장벽층을 포함한 전자 소자의 제조 방법은, 특히, 적어도 하나의 기능층(22)을 포함한 기판(1)의 준비 단계, 플라즈마 강화 원자층 증착(PEALD)을 이용하여 상기 기능층(22)상에 적어도 하나의 제1 장벽층(3)을 도포하는 단계, 및 플라즈마 강화 화학 기상 증착(PECVD)을 이용하여 상기 기능층(22)상에 적어도 하나의 제2 장벽층(4)을 도포하는 단계를 포함한다. |
| 申请公布号 |
KR20150036797(A) |
申请公布日期 |
2015.04.07 |
| 申请号 |
KR20157005579 |
申请日期 |
2009.01.29 |
| 申请人 |
오스람 옵토 세미컨덕터스 게엠베하 |
发明人 |
슈미드, 크리스챤;슈렌커, 틸만;줄, 헤리벨트;팻졸드, 랄프;클레인, 마르쿠스;헤우서, 카스텐 |
| 分类号 |
H01L21/02;H01L23/31;H01L51/52 |
主分类号 |
H01L21/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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