| 摘要 |
<p>일 실시예에 따르면, 본 발명은 연성 박막(1)에서 변형량을 보상하기 위한 테이블을 제공하기 위한 것이다. 상기 테이블은 지지 베이스(2)와 변형량 보상 시스템(3)으로 구성된다. 상기 시스템은 베이스(2)에 의해 지지되는 복수의 이동 부재(4)로 구성되고, 상기 이동 부재는 상기 연성 박막(5)을 지지하는 표면으로 이루어진다. 상기 이동 부재는 상기 박막(5)을 파지하기 위한 클램프(6)로 구성된다. 상기 이동 부재(4)는 각각 상기 박막을 지지하는 표면에 대해 평행하고 이동하여, 상기 파지된 박막을 기설정된 형상으로 신장시킨다. 연성 박막의 변형량을 보상하기 위한 상기 테이블은, 연성 기능성 박막의 제조 공정 상에서 연속 패터닝 공정 중에서 상기 박막의 변형량을 보상하기 위해서 사용될 수 있다.</p> |
