Method of forming organic material pattern using electron beam

摘要

본 발명에 따른 전자빔을 이용한 유기물 패턴 형성 방법은, 기재층과, 유기물질로 구성된 전사층을 구비한 제1기판과 유기물 패턴이 전사될 제2기판을 준비하는 제1단계, 상기 제1기판의 전사층이 상기 제2기판을 향하도록 하여 상기 제2기판에 상기 제1기판을 적층시키는 제2단계, 상기 제2기판에 패턴을 형성하기 위해 상기 제1기판의 기재층의 대응영역에 전자빔을 조사하는 제3단계를 포함한다.