| 摘要 |
[과제] 본 발명은 폴리실리콘의 석출 공정에서 발생하는 고온의 배기 가스로부터 효율적으로 열을 회수하는 것을 목적으로 한다. 또한, 본 발명은 배관이나 장치에서의 실리콘 미분이나 폴리머의 부착 잔류를 저감하고, 미반응 원료 가스 등의 회수 효율을 높이고, 세정 빈도를 저하시켜서, 장시간의 연속 운전을 가능하게 함으로써, 제조 효율의 향상을 도모하는 것을 목적으로 한다. [해결수단] 본 발명에 따른 폴리실리콘의 제조 방법은 클로로실란류를 포함하는 원료 가스에 의해 폴리실리콘을 석출시키는 석출 공정 및 석출 공정으로부터의 배기 가스를, 배기 가스 배관을 구비한 보일러형 열회수 장치에 공급하여 열회수하는 열회수 공정을 구비하고, 상기 보일러형 열회수 장치내의 배기 가스 배관의 출구 가스 온도를 200℃ 이상으로 함과 동시에, 보일러형 열회수 장치내의 배기 가스 배관 출구에서의 배기 가스 유속을 10m/초 이상으로 조정하는 것을 특징으로 한다. |
