| 摘要 |
<p>본 발명은 기판정렬장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 롤투롤 공정에 있어서 정렬정밀도를 높일 수 있는 기판정렬장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 기판정렬장치는 기판과 패턴롤 사이의 정렬 오차를 제거하기 위하여 조동정렬과 미세정렬을 수행한다. 조동정렬은 정렬 오차가 상대적으로 큰 경우 스테이지를 이용하여 프레임을 이동시킴으로써 수행하는 것이고, 미세정렬은 정렬 오차가 상대적으로 작은 경우 롤러유닛을 메인롤러와 보조롤러로 구분하고 보조롤러가 메인롤러에 대하여 상대운동 가능하게 장착함으로써 수행하는 것이다.</p> |
