Mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitende Vorrichtung

摘要

Die gewöhnliche mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitende Vorrichtung arbeitet unter der Annahme, dass Signale detektiert werden, während ihre Membran und die Probe dicht beieinander angeordnet sind. Diese Struktur ist nicht geeignet, um eine Probe mit einer ausgeprägt ungleichmäßigen Oberfläche in einer Gasatmosphäre beim Atmosphärendruck oder bei einem Druck, der diesem im Wesentlichen gleicht, zu beobachten. Die vorliegende Erfindung sieht eine mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitende Vorrichtung vor, bei welcher die optische Röhre für geladene Teilchen von dem Raum getrennt ist, in dem die Probe angeordnet ist. Die Vorrichtung weist eine abnehmbare Membran auf, die einen primären Strahl geladener Teilchen durchlässt oder hindurchlaufen lässt. In dem Raum, in dem die Probe angeordnet ist, ist ein Detektor installiert, der Sekundärteilchen detektiert, welche von der mit dem primären Strahl geladener Teilchen bestrahlten Probe abgegeben werden.