发明名称 | 聚合材料和制备该聚合材料的方法 | ||
摘要 | 本发明公开了聚合材料、制备该聚合材料的方法以及使用了该聚合材料的光致抗蚀剂配制剂。一方面,提供聚合材料,其包括包含醛和酚类单体组合物的反应混合物的缩合产物,该酚类单体组合物包含间甲酚、对甲酚、3,5-二甲基苯酚和2,5-二甲基苯酚。该聚合材料可以进一步与光活性化合物和溶剂接触以形成光致抗蚀剂配制剂。 | ||
申请公布号 | CN104487477A | 申请公布日期 | 2015.04.01 |
申请号 | CN201380037002.1 | 申请日期 | 2013.07.10 |
申请人 | 迈图专业化学股份有限公司 | 发明人 | A·T·雷迪;J·E·温特沃斯 |
分类号 | C08G63/00(2006.01)I | 主分类号 | C08G63/00(2006.01)I |
代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人 | 柳冀 |
主权项 | 一种包含以下物质的反应混合物的缩合产物:醛;和酚类单体组合物,其包含:间甲酚;对甲酚;3,5‑二甲基苯酚;和2,5‑二甲基苯酚。 | ||
地址 | 美国俄亥俄 |