使用疏水性溶胶凝胶材料之具有凹凸构造的基板

摘要

提供一种耐热性优异且具有疏水性之具有微细凹凸构造的基板、在制造该基板所使用的溶液、及该基板之制造方法。;一种具有凹凸构造的基板，系包括由在平滑膜时的水接触角为80度以上的溶胶凝胶(solgel)材料所构成之凹凸构造。前述基板系藉由包括由溶胶凝胶材料所构成之凹凸构造层，而具有优异的耐热性及耐蚀性且对将该基板纳入之元件的制程亦具有耐性。而且，因为本发明之具有凹凸构造的基板系具有疏水性的表面，所以将本发明的基板纳入之元件，能够抑制水分吸附在基板表面且元件能够长寿命化。