发明名称 电晶体、包含该电晶体之半导体装置及该电晶体与该半导体装置之制造方法
摘要
申请公布号 TWI479656 申请公布日期 2015.04.01
申请号 TW099103977 申请日期 2010.02.09
申请人 半导体能源研究所股份有限公司 发明人 坂田淳一郎;乡户宏充;岛津贵志
分类号 H01L29/78;H01L21/336;H01L21/28 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人 林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项 一种电晶体,包括:闸极电极;在该闸极电极之上的闸极绝缘层;在该闸极绝缘层之上的氧化物半导体层,该氧化物半导体层与该闸极电极重叠;在该氧化物半导体层之上且与该氧化物半导体层接触的矽层;在该矽层之上的第一杂质半导体层;在该矽层之上的第二杂质半导体层;与该第一杂质半导体层电连接的源极电极层;以及与该第二杂质半导体层电连接的汲极电极层。
地址 日本