一种高效散热结构的集成光电波导调制器及其制造方法

摘要

本发明提供一种高效散热结构的集成电光波导调制器及其制备方法，该发明采用了一种高效散热结构，利用金刚石作为铌酸锂衬底的散热材料，并采用液体毛细键合工艺实现铌酸锂衬底与金刚石薄片之间的良好接触，不会引入热阻和光学损耗，利用金刚石的高热导率特性实现对电光波导调制器内部热量的疏散，实现调制器内部热场的均匀分布，本发明的调制器具有结构简单、工艺容易实现、成本低等优点，可广泛应用于激光通信、光纤传感和光信号处理等领域。

主权项

一种高效散热结构的集成电光波导调制器，其特征在于：包括电光波导调制器部件和金刚石薄片，其中，所述电光波导调制器部件包括金电极层、铬金层、二氧化硅缓冲层、铌酸锂光波导和铌酸锂衬底；电光波导调制器部件的铌酸锂衬底和金刚石薄片之间通过键合匹配液进行键合处理形成接触。