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经营范围
发明名称
半导体装置连接用铜铑合金细线
摘要
申请公布号
TWI479581
申请公布日期
2015.04.01
申请号
TW102116582
申请日期
2013.05.09
申请人
田中电子工业股份有限公司
发明人
天野裕之;三上道孝;冈崎纯一;滨本拓也;中岛伸一郎;山下勉;三苫修一;小野甲介;刘斌;执行裕之
分类号
H01L21/60
主分类号
H01L21/60
代理机构
代理人
游永谊 台北市中正区和平西路1段59号5楼之11
主权项
一种半导体装置连接用铜铑合金细线,系由铑(Rh)及剩余部分为99.995质量%以上之铜(Cu)所构成,其特征在于:在该高纯度铜(Cu)基体中,固溶有做为金属元素之铑(Rh)0.1~1.5质量%、做为非金属元素之硫(S)1.0~10质量ppm及氧(O)10~150质量ppm。
地址
日本
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