发明名称 半导体装置连接用铜铑合金细线
摘要
申请公布号 TWI479581 申请公布日期 2015.04.01
申请号 TW102116582 申请日期 2013.05.09
申请人 田中电子工业股份有限公司 发明人 天野裕之;三上道孝;冈崎纯一;滨本拓也;中岛伸一郎;山下勉;三苫修一;小野甲介;刘斌;执行裕之
分类号 H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人 游永谊 台北市中正区和平西路1段59号5楼之11
主权项 一种半导体装置连接用铜铑合金细线,系由铑(Rh)及剩余部分为99.995质量%以上之铜(Cu)所构成,其特征在于:在该高纯度铜(Cu)基体中,固溶有做为金属元素之铑(Rh)0.1~1.5质量%、做为非金属元素之硫(S)1.0~10质量ppm及氧(O)10~150质量ppm。
地址 日本