| 发明名称 | 一种敏感吸附膜及其制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种声表面波气体传感器上的敏感吸附膜及其制造方法，其中，所述敏感吸附膜，设置于声表面波气体传感器上相邻插指换能器之间的压电薄膜上，包括：沉积于所述压电薄膜上的三层金属薄膜，所述三层金属薄膜依次为BiO<sub>2</sub>薄膜、Bi薄膜及BiO<sub>2</sub>薄膜。通过本发明实施例，可以提高声表面波气体传感器上该敏感吸附膜对NO<sub>2</sub>气体的敏感性和选择性。 | ||
| 申请公布号 | CN102774064B | 申请公布日期 | 2015.04.01 |
| 申请号 | CN201110122282.9 | 申请日期 | 2011.05.12 |
| 申请人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明人 | 李冬梅;刘明;谢常青;闫学峰;叶甜春 |
| 分类号 | B32B9/04(2006.01)I;B32B15/00(2006.01)I | 主分类号 | B32B9/04(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 逯长明;王宝筠 |
| 主权项 | 一种敏感吸附膜，设置于声表面波气体传感器上相邻插指换能器之间的压电薄膜上，其特征在于，包括：沉积于所述压电薄膜上的三层金属薄膜，所述三层金属薄膜依次为BiO<sub>2</sub>薄膜、Bi薄膜及BiO<sub>2</sub>薄膜。 | ||
| 地址 | 100029 北京市朝阳区北土城西路3号 | ||