| 摘要 |
本发明提供了一种真空紫外成像光谱仪的校准方法，包括：校准真空紫外成像光谱仪的波长测量范围、波长准确度、光谱响应率、均匀性以及空间角分辨率。本发明还提供了一种真空紫外成像光谱仪的校准装置，包括：依次设置于光路中的光源、真空紫外单色分光系统、真空紫外积分球、真空紫外靶标、真空紫外准直光学系统，以及与需要被校的真空紫外成像光谱仪可切换地设置于真空紫外准直光学系统的输出端的真空紫外标准探测器和用以实现真空紫外成像光谱仪的空间角度变换的真空三维扫描机构。采用本发明的技术方案能够及时发现真空紫外成像光谱仪设计过程中存在的缺陷，同时能够有效保证真空紫外成像光谱仪获取数据的准确性。 |
