| 发明名称 | 分区热反射板 | ||
| 摘要 | 本实用新型提供一种分区热反射板，在多区电阻加热源的背对加热源热辐射方向的一面对每区加热电阻设置单独的热反射板，可以有效减小反射板温度差，抑制高温差引起的变形，进一步提高反射板可靠性。 | ||
| 申请公布号 | CN204244490U | 申请公布日期 | 2015.04.01 |
| 申请号 | CN201420747587.8 | 申请日期 | 2014.12.03 |
| 申请人 | 广东昭信半导体装备制造有限公司 | 发明人 | 甘志银;沈桥 |
| 分类号 | H05B3/02(2006.01)I | 主分类号 | H05B3/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 代理人 | ||
| 主权项 | 一种分区热反射板，其特征在于：在多区电阻加热源的背对加热源热辐射方向的一面对每区加热电阻设置单独的热反射板。 | ||
| 地址 | 528251 广东省佛山市南海区平洲南港路金谷光电产业社区 | ||