使用193nm激光器的固态激光器及检验系统

摘要

本发明揭示改进的激光器系统及相关联技术，其由接近1064nm的基谐波真空波长产生大约193.368nm的紫外线UV波长。优选实施例分离出至少一级的输入波长的未消耗部分且重新定向所述未消耗部分以在另一级中使用。所述改进的激光器系统及相关联技术导致比当前用于工业中的激光器更便宜、寿命更长的激光器。这些激光器系统可用易于获得、相对便宜的组件构造。

主权项

一种用于产生大约193.368nm波长光的激光器系统，所述激光器系统包括：基谐波激光器，其经配置以产生具有大约1064nm的对应波长的基谐波频率；光学参数OP模块，其经配置以降频转换所述基谐波频率且产生OP输出，所述OP输出为所述基谐波频率的一半谐波；五次谐波产生器模块，其经配置以使用所述OP模块的未消耗基谐波频率以产生五次谐波频率；以及混频模块，其用于组合所述五次谐波频率与所述OP输出以产生具有所述大约193.368nm波长光的激光器输出。