用于蒸发的掩模以及用于制造该掩模的方法和装置

摘要

本发明提供了一种用于蒸发的掩模以及一种用于制造该掩模的方法和装置。该掩模包括第一分离掩模和第二分离掩模。第一分离掩模和第二分离掩模通过焊接彼此直接结合，由此在第一分离掩模和第二分离掩模之间形成焊接部分。根据实施例的分离掩模不使用子框架，并且通过焊接彼此直接结合，从而不发生阴影效应。用于制造用于蒸发的掩模的装置包括：工作台；夹具，将第一分离掩模和第二分离掩模固定到工作台；激光焊接部分，将第一分离掩模焊接到第二分离掩模。所述装置还可以包括引导激光焊接部分的第一辊和跟随激光焊接部分的第二辊。

主权项

一种制造用于蒸发的掩模的方法，所述方法包括：将第一分离掩模和第二分离掩模设置在工作台的顶表面上；使用夹具将所述第一分离掩模和所述第二分离掩模固定到所述工作台；将压板设置在将被焊接的所述第一分离掩模和所述第二分离掩模的外围区域上；使用激光焊接部分将所述第一分离掩模焊接到所述第二分离掩模，所述方法还包括：在朝向焊接方向移动的同时，利用第一辊将所述第一分离掩模和所述第二分离掩模压到所述工作台上，所述第一辊引导所述激光焊接部分，其中，在将所述第一分离掩模焊接到所述第二分离掩模之后，在所述第一分离掩模和所述第二分离掩模之间形成焊接部分，所述方法还包括：在朝向焊接方向移动的同时，利用第二辊使所述焊接部分的顶表面平坦化，所述第二辊跟随所述激光焊接部分。