吸附垫片

摘要

本发明涉及一种吸附垫片，其包括一垫片本体。该垫片本体具有一上表面、多个发泡孔洞及多个表面孔洞或至少一沟槽。该上表面用以吸附一基材。多个发泡孔洞位于该垫片本体的内部。多个表面孔洞或该沟槽开口于该上表面，但与多个发泡孔洞互不连通，多个表面孔洞或该沟槽是加工而成，且排列成至少一图案。由此，可减少该基材从该吸附垫片取下的时间。

主权项

一种吸附垫片，包括：垫片本体，具有上表面、下表面、多个发泡孔洞及多个表面孔洞，该上表面用以吸附一基材，多个发泡孔洞位于该垫片本体的内部，多个表面孔洞开口于该上表面，彼此独立不连通，多个表面孔洞与多个发泡孔洞互不连通，多个表面孔洞是加工而成，且排列成至少一图案，其中该上表面具有一整体表面积，该图案是将该上表面区隔出多个小区域，每一小区域的表面积为该整体表面积的1/100至1/2。