发明名称 改善HIT太阳能电池性能的微纳结构及制备方法
摘要 一种改善HTT太阳能电池性能的微纳结构,包括:一衬底;一倒金字塔结构,该倒金字塔结构是在衬底正面腐蚀形成的;一纳米线结构,该纳米线结构是在倒金字塔结构上腐蚀形成的;一绝缘层,该绝缘层制作在倒金字塔结构上,并覆盖纳米线结构;一本征非晶硅层,其制作在衬底的背面;一掺杂非晶硅层,其制作在本征非晶硅层上;多个电极层,其制作在掺杂非晶硅层上。本发明可以减少光的反射,从而改善光吸收,提高转化效率,适用于制备高效的HIT太阳能电池。
申请公布号 CN104485367A 申请公布日期 2015.04.01
申请号 CN201410785507.2 申请日期 2014.12.17
申请人 中国科学院半导体研究所 发明人 袁国栋;吴瑞伟;李晋闽;王军喜
分类号 H01L31/0236(2006.01)I;H01L31/20(2006.01)I 主分类号 H01L31/0236(2006.01)I
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人 任岩
主权项 一种改善HIT太阳能电池性能的微纳结构,包括:一衬底;一倒金字塔结构,该倒金字塔结构是在衬底正面腐蚀形成的;一纳米线结构,该纳米线结构是在倒金字塔结构上腐蚀形成的;一绝缘层,该绝缘层制作在倒金字塔结构上,并覆盖纳米线结构;一本征非晶硅层,其制作在衬底的背面;一掺杂非晶硅层,其制作在本征非晶硅层上;多个电极层,其制作在掺杂非晶硅层上。
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