发明名称 |
改善HIT太阳能电池性能的微纳结构及制备方法 |
摘要 |
一种改善HTT太阳能电池性能的微纳结构,包括:一衬底;一倒金字塔结构,该倒金字塔结构是在衬底正面腐蚀形成的;一纳米线结构,该纳米线结构是在倒金字塔结构上腐蚀形成的;一绝缘层,该绝缘层制作在倒金字塔结构上,并覆盖纳米线结构;一本征非晶硅层,其制作在衬底的背面;一掺杂非晶硅层,其制作在本征非晶硅层上;多个电极层,其制作在掺杂非晶硅层上。本发明可以减少光的反射,从而改善光吸收,提高转化效率,适用于制备高效的HIT太阳能电池。 |
申请公布号 |
CN104485367A |
申请公布日期 |
2015.04.01 |
申请号 |
CN201410785507.2 |
申请日期 |
2014.12.17 |
申请人 |
中国科学院半导体研究所 |
发明人 |
袁国栋;吴瑞伟;李晋闽;王军喜 |
分类号 |
H01L31/0236(2006.01)I;H01L31/20(2006.01)I |
主分类号 |
H01L31/0236(2006.01)I |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 11021 |
代理人 |
任岩 |
主权项 |
一种改善HIT太阳能电池性能的微纳结构,包括:一衬底;一倒金字塔结构,该倒金字塔结构是在衬底正面腐蚀形成的;一纳米线结构,该纳米线结构是在倒金字塔结构上腐蚀形成的;一绝缘层,该绝缘层制作在倒金字塔结构上,并覆盖纳米线结构;一本征非晶硅层,其制作在衬底的背面;一掺杂非晶硅层,其制作在本征非晶硅层上;多个电极层,其制作在掺杂非晶硅层上。 |
地址 |
100083 北京市海淀区清华东路甲35号 |