片状电子部件的检查方法以及检查装置

摘要

提供一种使用两台以上的检查器以高速且高精度来检查大量片状电子部件的电特性的方法提供。片状电子部件的检查方法对检查对象的各片状电子部件的电特性进行检查，包括以下工序：在把分别根据相同标准以示出规定的相同电特性的方式制造的两个以上的检查对象的片状电子部件相互接近地配置的状态下将该片状电子部件的每个与相互独立的检查器电连接；以及从各检查器对每个片状电子部件施加具有相互相同或者大致相同的频率的检查用电压，用各检查器检测通过施加该检查用电压而在各片状电子部件中发生的电流值，所述片状电子部件的检查方法的特征在于，在相互不重复的时段进行从各检查器向各片状电子部件的检查用电压的施加。

主权项

一种片状电子部件的检查方法，对检查对象的各片状电子部件的电特性进行检查，包括以下工序：在把分别根据相同标准以示出规定的相同电特性的方式制造的两个以上的检查对象的片状电子部件相互接近地配置的状态下将该片状电子部件的每个与相互独立的检查器电连接；以及从各检查器对每个片状电子部件施加具有相互相同或者大致相同的频率的检查用电压，用各检查器检测通过施加该检查用电压而在各片状电子部件中发生的电流值，所述片状电子部件的检查方法的特征在于，在相互不重复的时段进行从各检查器向各片状电子部件的检查用电压的施加。